A ferroelectric capacitor including a silicon oxidation layer, a lower
electrode, a ferroelectric layer and an upper electrode formed on a
silicon substrate. The lower electrode having columnar crystals is made of
palladium oxide. Also, the upper electrode is made of palladium oxide,
thereby preventing leakage of oxygen contained in the ferroelectric layer.
Un condensatore ferroelectric compreso uno strato di ossidazione del silicone, un elettrodo più basso, uno strato ferroelectric e un elettrodo superiore ha formato su un substrato del silicone. L'elettrodo più basso che ha a cristallo colonnari è fatto dell'ossido del palladio. Inoltre, l'elettrodo superiore è fatto dell'ossido del palladio, quindi impedendo la perdita di ossigeno contenuta nello strato ferroelectric.
