An end-effector includes multiple vortex chucks for supporting a wafer.
Vortex chucks are located along the periphery of the end-effector to help
prevent a flexible wafer from curling. The end-effector has limiters to
restrict the lateral movement of a supported wafer. In one example, the
end-effector has a detector for detecting the presence of a wafer. The
detector is mounted at a shallow angle to allow the end-effector to be
positioned close to a wafer to be picked-up, thereby allowing detection of
deformed wafers contained in a wafer cassette. The shallow angle of the
detector also minimizes the thickness of the end-effector. Also disclosed
is a wafer station with features similar to that of the end-effector.
End-effector περιλαμβάνει τα πολλαπλάσια τσοκ δινών για την υποστήριξη μιας γκοφρέτας. Τα τσοκ δινών βρίσκονται κατά μήκος της περιφέρειας end-effector για να βοηθήσουν να αποτρέψουν μια εύκαμπτη γκοφρέτα από το κατσάρωμα. End-effector έχει τους περιοριστές για να περιορίσει την πλευρική μετακίνηση μιας υποστηριγμένης γκοφρέτας. Σε ένα παράδειγμα, end-effector έχει έναν ανιχνευτή για την ανίχνευση της παρουσίας μιας γκοφρέτας. Ο ανιχνευτής τοποθετείται σε μια ρηχή γωνία για να επιτρέψει end-effector για να τοποθετηθεί κοντά σε μια γκοφρέτα για να είναι επι:λέγω-επάνω, με αυτόν τον τρόπο επιτρέποντας την ανίχνευση των παραμορφωμένων γκοφρετών που περιλαμβάνονται σε μια κασέτα γκοφρετών. Η ρηχή γωνία του ανιχνευτή ελαχιστοποιεί επίσης το πάχος end-effector. Επίσης αποκαλύπτεται ένας σταθμός γκοφρετών με τα χαρακτηριστικά γνωρίσματα παρόμοια με αυτόν end-effector.
