A retrograde and periphery well structure for a CMOS imager is disclosed
which improves the quantum efficiency and signal-to-noise ratio of the
photosensing portion imager. The retrograde well comprises a doped region
with a vertically graded dopant concentration that is lowest at the
substrate surface, and highest at the bottom of the well. A single
retrograde well may have a single pixel sensor cell, multiple pixel sensor
cells, or even an entire array of pixel sensor cells formed therein. The
highly concentrated region at the bottom of the retrograde well repels
signal carriers from the photosensor so that they are not lost to the
substrate, and prevents noise carriers from the substrate from diffusing
up into the photosensor. The periphery well contains peripheral logic
circuitry for the imager. By providing retrograde and peripheral wells,
circuitry in each can be optimized. Also disclosed are methods for forming
the retrograde and peripheral well.
Una struttura buona di periferia e retrograda per un toner di CMOS è rilevata che migliora l'efficienza di quantum ed il rapporto segnale-rumore del toner photosensing della parte. Il pozzo retrogrado contiene una regione verniciata con una concentrazione di dopant verticalmente classificata che è la più bassa alla superficie del substrato e l'più alto alla parte inferiore del pozzo. Un singolo retrocede bene può avere una singola cellula del sensore del pixel, lle cellule multiple del sensore del pixel, o persino un intero allineamento delle cellule del sensore del pixel formate in ciò. La regione altamente concentrata alla parte inferiore del pozzo retrogrado respinge gli elementi portanti del segnale dalla fotocellula in moda da non perderli al substrato ed impedisce gli elementi portanti per la misurazione del rumore il substrato dalla diffusione in su nella fotocellula. Il pozzo di periferia contiene i circuiti periferici di logica per il toner. Fornendo i pozzi retrogradi e periferici, i circuiti in ciascuno possono essere ottimizzati. Inoltre sono rilevati i metodi per formare il pozzo dell'unità periferica e retrogrado.
