An analysis apparatus, in particular a spectroscopic analysis apparatus,
comprises an excitation system (exs) for emitting an excitation beam (exb)
to excite a target region during an excitation period. A monitoring system
(lso) is provided for emitting a monitoring beam (irb) to image the target
region during a monitoring period. The monitoring period and the
excitation period being substantially overlap, so that monitoring the
target region is maintained during excitation. The analysis apparatus is
provided with a tracking system (osc, dcu) to control the excitation
system to direct the excitation beam onto the target region.
Een analyseapparaat, in het bijzonder een spectroscopisch analyseapparaat, bestaat uit een opwindingssysteem (exs) voor het uitzenden van een opwindingsstraal (exb) om een doelgebied tijdens een opwindingsperiode op te wekken. Een controlesysteem (lso) wordt verstrekt voor het uitzenden van een controlestraal (irb) aan beeld het doelgebied tijdens een controleperiode. De controleperiode en de opwindingsperiode die wezenlijk overlappen zijn, zodat de controle van het doelgebied tijdens opwinding wordt gehandhaafd. Het analyseapparaat wordt voorzien van een volgend systeem (osc, DCU) om het opwindingssysteem te controleren om de opwindingsstraal op het doelgebied te leiden.
