A method of processing a substrate made of a ferroelectric single crystalline material, including the steps of forming a desired proton-exchanged layer in the substrate by proton-exchanging a portion of the substrate, and selectively removing the proton-exchanged layer to form a concave ditch structure in the ferroelectric single crystalline substrate, wherein the desired proton-exchange layer is formed by using an acid containing a lithium salt as a proton-exchanging source, the surface of the substrate from which the concave ditch structure is formed is an X-cut surface or a Z-cut surface, as a main surface, of the ferroelectric single crystalline material used as the substrate, and the concave ditch structure has a recessed portion with its depth equal to or larger than its half opening width.

Eine Methode der Verarbeitung eines Substrates, das von einem ferroelectric einzelnen kristallenen Material, einschließlich die Schritte der Formung einer gewünschten Proton-ausgetauschten Schicht im Substrat gebildet wird, indem man einen Teil des Substrates Proton-austauscht, und selektiv die Proton-ausgetauschte Schicht, um eine konkave Abzugsgrabenstruktur im ferroelectric einzelnen kristallenen Substrat zu bilden, worin gewünscht Schicht, entfernt Proton-austauschen wird gebildet, indem man eine Säure verwendet, die ein Lithiumsalz als Proton-austauschende Quelle enthält, die Oberfläche des Substrates, von dem die konkave Abzugsgrabenstruktur gebildet wird, ist X-schnitt Oberfläche, oder Z-schneiden Sie Oberfläche, wie Hauptoberfläche, des ferroelectric einzelnen kristallenen Materials, das als das Substrat benutzt wird, und die konkave Abzugsgrabenstruktur hat einen vertieften Teil mit seiner Tiefe gleich oder größer als seiner halben Öffnung Breite.