A MEMS-based optical switch having improved characteristics and methods for manufacturing the same are provided. In accordance with one embodiment, an optical switch includes a single comb drive actuator having a deflecting beam structure and a mirror coupled to the actuator. The mirror is capable of being moved between an extended position interposed between waveguide channels and a retracted position apart from the waveguide channels. The actuator applies a force capable of deflecting the beam structure and moving the mirror to one of the extended positions or the retracted position and the beam structure returns the mirror to the other of the extended position or the retracted position in the absence of the application of force.

Ένας μεμς-βασισμένος οπτικός διακόπτης που έχουν βελτιώσει τα χαρακτηριστικά και οι μέθοδοι για το ίδιο πράγμα παρέχονται. Σύμφωνα με μια ενσωμάτωση, ένας οπτικός διακόπτης περιλαμβάνει έναν ενεργοποιητή κίνησης ενιαίων χτενών που έχει μια εκτρέποντας δομή ακτίνων και έναν καθρέφτη συνδεμένων με τον ενεργοποιητή. Ο καθρέφτης είναι σε θέση της κίνησης μεταξύ μιας εκτεταμένης θέσης που παρεμβάλλονται μεταξύ των καναλιών κυματοδηγού και μιας αποσυμένης θέσης εκτός από τα κανάλια κυματοδηγού. Ο ενεργοποιητής εφαρμόζει μια δύναμη ικανή τη δομή ακτίνων και τον καθρέφτη σε μια από τις εκτεταμένες θέσεις ή την αποσυμένη θέση και η δομή ακτίνων επιστρέφει τον καθρέφτη σε άλλη της εκτεταμένης θέσης ή της αποσυμένης θέσης ελλείψει της εφαρμογής της δύναμης.