A method for fabricating an integrated coil-on-keeper assembly for use in a magnetic circuit to actuate a microactuator. The assembly is formed on a keeper substrate by patterning an insulator layer, plating at least one coil layer and patterning another insulator layer on top of each coil layer. The keeper substrate is etched to form the top keeper of the coil-on-keeper assembly.

Μια μέθοδος για μια ενσωματωμένη συνέλευση σπείρα-$$$-ΦΥΛΑΚΩΝ για τη χρήση σε ένα μαγνητικό κύκλωμα για να ωθήσει ένα microactuator. Η συνέλευση διαμορφώνεται σε ένα υπόστρωμα φυλάκων με τη διαμόρφωση ενός στρώματος μονωτών, την επίστρωση τουλάχιστον ενός στρώματος σπειρών και τη διαμόρφωση ενός άλλου στρώματος μονωτών πάνω από κάθε στρώμα σπειρών. Το υπόστρωμα φυλάκων χαράζεται για να διαμορφώσει τον κορυφαίο φύλακα της συνέλευσης σπείρα-$$$-ΦΥΛΑΚΩΝ.