A substrate processing pallet has a top surface and a plurality of side surfaces. The top surface has at least one recess adapted to receive a substrate. The recess includes a support structure adapted to contact a portion of a substrate seated in the recess and a plurality of apertures each adapted to accommodate a lift pin. Lift pins can extend through the apertures initially to support the substrate and retract to deposit the substrate onto the support structure. A side surface includes a process positioning feature adapted to engage with a feature located in a process chamber to position the pallet. A side surface includes a positioning feature adapted to engage with an end effector alignment feature to position the pallet with respect to the end effector during transport. A side surface includes support features adapted to engage with end effector support features to support the pallet during transport.

Μια παλέτα επεξεργασίας υποστρωμάτων έχει μια κορυφαία επιφάνεια και μια πολλαπλότητα των δευτερευουσών επιφανειών. Η κορυφαία επιφάνεια προσαρμόζεται τουλάχιστον μια κοιλότητα για να λάβει ένα υπόστρωμα. Η κοιλότητα περιλαμβάνει μια δομή υποστήριξης που προσαρμόζεται για να έρθει σε επαφή με μια μερίδα ενός υποστρώματος που κάθεται στην κοιλότητα και μια πολλαπλότητα των ανοιγμάτων κάθε μια που προσαρμόζεται για να προσαρμόσει μια καρφίτσα ανελκυστήρων. Ανυψώστε τις καρφίτσες μπορεί να επεκταθεί μέσω των ανοιγμάτων αρχικά να υποστηρίξει το υπόστρωμα και να αποσύρει για να καταθέσει το υπόστρωμα επάνω στη δομή υποστήριξης. Μια δευτερεύουσα επιφάνεια περιλαμβάνει ένα τοποθετώντας χαρακτηριστικό γνώρισμα διαδικασίας που προσαρμόζεται για να συμμετέχει με ένα χαρακτηριστικό γνώρισμα που βρίσκεται σε μια αίθουσα διαδικασίας για να τοποθετήσει την παλέτα. Μια δευτερεύουσα επιφάνεια περιλαμβάνει ένα τοποθετώντας χαρακτηριστικό γνώρισμα που προσαρμόζεται για να δεσμεύσει με ένα χαρακτηριστικό γνώρισμα ευθυγράμμισης συσκευών επίδρασης τελών για να τοποθετήσει την παλέτα όσον αφορά τη συσκευή επίδρασης τελών κατά τη διάρκεια της μεταφοράς. Μια δευτερεύουσα επιφάνεια περιλαμβάνει τα χαρακτηριστικά γνωρίσματα υποστήριξης που προσαρμόζονται για να δεσμεύσουν με τα χαρακτηριστικά γνωρίσματα υποστήριξης συσκευών επίδρασης τελών για να υποστηρίξει την παλέτα κατά τη διάρκεια της μεταφοράς.