A method and apparatus for providing correction for microloading effects is described. Hybrid proximity correction techniques are used to make the problem computationally more feasible. More specifically, feature edges in a layout can be grouped into those edges, or edge segments, with a large edge separation (group B), e.g. greater than n, and those having less than that separation (group A). The group B features can then be corrected for microloading effects rapidly using rules based correction. Then both groups of edges can be corrected using model based optical proximity correction using the output of the rule based correction as the ideal, or reference, layout.

Un metodo e un apparecchio per fornire la correzione per gli effetti microloading è descritto. Le tecniche ibride di correzione di prossimità sono usate per rendere il problema informaticamente più fattibile. Più specificamente, i bordi della caratteristica in una disposizione possono essere raggruppati in quei bordi, o il bordo si suddivide, con una grande separazione del bordo (gruppo B), per esempio più grande della n e di quelle che hanno di meno che quella separazione (gruppo A). Le caratteristiche del gruppo B possono allora essere corrette per gli effetti microloading che usando velocemente la correzione basata regole. Allora entrambi i gruppi dei bordi possono essere corretti usando la correzione ottica di prossimità basata modello usando l'uscita della correzione basata regola come il ideale, o riferimento, disposizione.