This invention relates to an active anti-vibration apparatus having an anti-vibration table on which a stage is mounted. This anti-vibration apparatus includes a pneumatic spring actuator for supporting and driving the anti-vibration table, a PI compensator for PI-compensating a target velocity signal determined by a velocity profile concerning the stage and necessary for driving the stage, and a motion mode distributing operation unit for controlling the pneumatic spring actuator in accordance with an output signal from the PI compensator.

Questa invenzione riguarda un'apparecchiatura attiva di anti-vibrazione che ha una tabella di anti-vibrazione su cui una fase è montata. Questa apparecchiatura di anti-vibrazione include un azionatore pneumatico della molla per il sostegno e l'azionamento della tabella di anti-vibrazione, un compensatore di pi per la Pi-compensazione del segnale di velocità dell'obiettivo determinato da un profilo di velocità riguardo alla fase e necessario per l'azionamento della fase e un'unità di distribuzione di funzionamento di modo di movimento per il controllo dell'azionatore pneumatico della molla in conformità con un segnale in uscita dal compensatore di pi.