A force scanning probe microscope (FSPM) and associated method of making force measurements on a sample includes a piezoelectric scanner having a surface that supports the sample so as to move the sample in three orthogonal directions. The FSPM also includes a displacement sensor that measures movement of the sample in a direction orthogonal to the surface and generates a corresponding position signal so as to provide closed loop position feedback. In addition, a probe is fixed relative to the piezoelectric scanner, while a deflection detection apparatus is employed to sense a deflection of the probe. The FSPM also includes a controller that generates a scanner drive signal based on the position signal, and is adapted to operate according to a user-defined input that can change a force curve measurement parameter during data acquisition.

Ein Kraftabtastung-Prüfspitze Mikroskop (FSPM) und verbundene Produktionsmethode Kraftmaße auf einer Probe schließt einen piezoelektrischen Scanner mit ein, der eine Oberfläche hat, die die Probe stützt, um die Probe in drei orthogonalen Richtungen zu verschieben. Das FSPM schließt auch einen Versetzung Sensor mit ein, der Bewegung der Probe in einer Richtung mißt, die zur Oberfläche orthogonal ist und ein entsprechendes Position Signal, um Endlosschleife Position Rückgespräch zur Verfügung zu stellen erzeugt. Zusätzlich ist eine Prüfspitze im Verhältnis zu dem piezoelektrischen Scanner örtlich festgelegt, während ein Ablenkung Abfragung Apparat eingesetzt wird, um eine Ablenkung der Prüfspitze abzufragen. Das FSPM schließt auch einen Steuerpult, der ein Scanner-Antrieb Signal erzeugt, das auf dem Position Signal basiert, mit ein und wird angepaßt, um entsprechend einem verbraucherbestimmten Eingang zu funktionieren, der einen Kraftkurve Maßparameter während der Datenerfassung ändern kann.