A system for processing a workpiece includes a base having a bowl or recess for holding a liquid. A process reactor or head holds a workpiece between an upper rotor and a lower rotor. A head lifter lowers the head holding the workpiece into contact with the liquid. The head spins the workpiece during or after contact with the liquid. The upper and lower rotors have side openings for loading and unloading a workpiece into the head. The rotors are axially moveable to align the side openings.

Un sistema per l'elaborazione del pezzo in lavorazione include una base che ha una ciotola o un incavo per la tenuta un liquido. Un reattore o una testa trattato tiene un pezzo in lavorazione fra un rotore superiore e un rotore più basso. Un elevatore capo abbassa la tenuta capa il pezzo in lavorazione nel contatto con il liquido. La testa fila il pezzo in lavorazione durante o dopo il contatto con il liquido. I rotori superiori e più bassi hanno aperture laterali per caricamento e lo scarico del pezzo in lavorazione nella testa. I rotori sono lungo un asse bene mobile per allineare le aperture laterali.

 
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< Workpiece processor having processing chamber with improved processing fluid flow

< Reactor for processing a workpiece using sonic energy

> Metallization structures for microelectronic applications and process for forming the structures

> Apparatus for electrochemically processing a microelectronic workpiece

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