A micro-optical light beam switch comprises a MEMS (Micro-Electromechanical Systems) mirror array with packaged CMOS driving circuitry. Each movable mirror is coupled to orthogonal pairs of thin unimorph PZT capacitor actuators about peripheral mirror portions for precise positional accuracy in two dimensions by the application of mirror tilt control voltages of 5 volts or less to the actuators. Each cantilevered actuator is individually controllable, allowing multi-axial movement of each mirror via simple flexible stress reducing hinging tab elements for the precise redirection of an incoming light beam to the appropriate targeted location, such as the direction of optical traffic throughout a fiber optic network.

Ein Mikro-optischer Lichtstrahlschalter enthält eine MEMS (Mikro-Elektromechanische Systeme) Spiegelreihe mit verpacktem CMOS, der Schaltkreis fährt. Jeder bewegliche Spiegel wird zu den orthogonalen Paaren der dünnen unimorph PZT Kondensatorauslöser über Zusatzspiegelteile für exakte Positionsgenauigkeit in zwei Maßen durch die Anwendung der Spiegelneigungsteuerspannungen von 5 Volt oder zu kleiner zu den Auslösern verbunden. Jeder freitragende Auslöser ist einzeln kontrollierbar und erlaubt multi-axiale Bewegung jedes Spiegels über den einfachen flexiblen Druck, der Vorsprungelemente für die exakte Umlenkung eines ankommenden Lichtstrahls schwenkbar lagernd auf der passenden gerichteten Position, wie der Richtung des optischen Verkehrs während eines Faseroptiknetzes sich verringert.