To provide a small vacuum pump making it possible to efficiently perform evacuation from the atmosphere to a high vacuum (degree of vacuum: 10.sup.-5 Pa) by using a single pump unit. A turbo-molecular pump mechanism portion is arranged on the high-vacuum side, a volute pump mechanism portion is arranged on the atmosphere side, and a thread groove pump mechanism portion is arranged between the turbo-molecular pump mechanism portion and the volute pump mechanism portion. Further, rotor blades of the turbo-molecular pump mechanism portion, a rotor of the thread groove pump mechanism portion, and an impeller of the volute pump mechanism portion are integrally mounted to a single rotor shaft, which is rotated by a single motor.

Pour fournir une petite pompe de vide permettant pour effectuer efficacement l'évacuation de l'atmosphère à un vide élevé (degré de vide : PA 10.sup.-5) en employant une unité simple de pompe. Une partie turbo-moléculaire de mécanisme de pompe est arrangée du côté sous vide élevé, une partie volute de mécanisme de pompe est arrangée du côté de l'atmosphère, et une partie de mécanisme de pompe de cannelure de fil est arrangée entre la partie turbo-moléculaire de mécanisme de pompe et la partie volute de mécanisme de pompe. De plus, des lames de rotor de la partie turbo-moléculaire de mécanisme de pompe, d'un rotor de la partie de mécanisme de pompe de cannelure de fil, et d'une roue à aubes de la partie volute de mécanisme de pompe sont intègralement montées à un arbre de rotor simple, qui est tourné par un moteur simple.