A wafer carrier device capable of detecting positioning precision of a supporting plate thereof. In the present invention, a supporting plate connected to a mechanical arm has three reflectors and a positioning window. A detection device has a vertical signal generator to output a vertical alignment signal to a vertical signal receiver, and three level detectors to each output a second signal to the corresponding reflector respectively and receive a corresponding reflected level detection signal from the corresponding reflector. A determining unit determines whether the supporting plate is aligned with the vertical signal receiver according to the vertical alignment signal. The determining unit outputs a position rectification signal when the supporting plate is not aligned with the vertical signal receiver. A driver moves the supporting plate by mechanical arm to align the vertical signal receiver according to the position rectification signal.

Een apparaat van de wafeltjedrager geschikt om het plaatsen precisie van een ondersteunende plaat daarvan te ontdekken. In de onderhavige uitvinding, heeft een ondersteunende plaat die met een mechanisch wapen wordt verbonden drie reflectors en een plaatsend venster. Een opsporingsapparaat heeft een verticale signaalgenerator aan output een verticaal groeperingssignaal aan een verticale signaalontvanger, en drie niveaudetectors aan elke output een seconde signaleren respectievelijk aan de overeenkomstige reflector en ontvangen een overeenkomstig weerspiegeld signaal van de niveauopsporing van de overeenkomstige reflector. Een bepalende eenheid bepaalt of de ondersteunende plaat wordt gericht op de verticale signaalontvanger volgens het verticale groeperingssignaal. De bepalende eenheidsoutput een signaal van de positierectificatie wanneer de ondersteunende plaat niet wordt gericht op de verticale signaalontvanger. Een bestuurder beweegt de ondersteunende plaat door mechanisch wapen om de verticale signaalontvanger volgens het signaal van de positierectificatie te richten.