Methods and apparatus for varying and measuring the position of a micromachined electrostatic actuator using a pulse width modulated (PWM) pulse train are disclosed. One or more voltage pulses are applied to the actuator. In each of the pulses, a voltage changes from a first state to a second state and remains in the second state for a time t.sub.pulse before returning to the first state. The position of the actuator may be varied by varying the time .DELTA.t.sub.pulse. A position of the actuator may be determined by measuring a capacitance of the actuator when the voltage changes state, whether the time t is varied or not. An apparatus for varying the position of a MEMS device may include a pulse width modulation generator coupled to the MEMS device an integrator coupled to the MEMS device and an analog-to-digital converter coupled to the integrator. The integrator may measure a charge transferred during a transition of a pulse from the pulse generator. The integrator may include an amplifier, an integrator capacitor, a hold capacitor, a compensation voltage generator and three switches. The hold capacitor and integrator capacitor may be coupled to a MEMS device. The integrator capacitor, hold capacitor, and compensation voltage generator may be selectively coupled to the amplifier by two of the switches. The MEMS device and hold capacitor may be selectively coupled to ground by a third switch.

Les méthodes et l'appareil pour changer et mesurer la position de a micromachined le déclencheur électrostatique à l'aide d'un train d'impulsion modulé par largeur d'impulsion (PWM) sont révélés. Une ou plusieurs impulsions de tension sont appliquées au déclencheur. Dans chacune des impulsions, une tension change d'un premier état à un deuxième état et demeure dans le deuxième état pendant un certain temps t.sub.pulse avant le renvoi au premier état. La position du déclencheur peut être changée en changeant le DELTA.t.sub.pulse de temps. Une position du déclencheur peut être déterminée en mesurant une capacité du déclencheur quand la tension change l'état, que le temps t soit changé ou pas. Un appareil pour changer la position d'un dispositif de MEMS peut inclure un générateur de modulation de largeur d'impulsion couplé au dispositif de MEMS un intégrateur couplé au dispositif de MEMS et à un convertisseur analogique-numérique couplés à l'intégrateur. L'intégrateur peut mesurer une charge transférée pendant une transition d'une impulsion à partir du générateur d'impulsion. L'intégrateur peut inclure un amplificateur, un condensateur d'intégrateur, un condensateur de prise, un générateur de tension de compensation et trois commutateurs. Le condensateur de prise et le condensateur d'intégrateur peuvent être couplés à un dispositif de MEMS. Le condensateur d'intégrateur, le condensateur de prise, et le générateur de tension de compensation peuvent être sélectivement couplés à l'amplificateur par deux des commutateurs. Le dispositif de MEMS et le condensateur de prise peuvent être sélectivement couplés pour rectifier par un troisième commutateur.