In accordance with the present invention, an array of individually addressable micromachined light reflecting ribbons provide a high speed light valve action by employing a method in accordance with which the ribbons flex about their longer axis under the action of an applied electrostatic field. The ribbons are mounted on pedestals such that the resulting micromechanical structures are substantially symmetrical with respect to a plane along their long axis through the centers of the pedestals and normal to the substrate. This micromechanical arrangement ensures a structure with a high natural frequency, thereby allowing high light valve switching speeds. The particular mode of deformation also ensures a robust structure. The method may be applied in either "bright field" or "dark field" (Schlieren) mode. The particular combination of materials employed allows the method to be used in higher incident power applications such as those encountered in the printing industry. The invention uses the fabrication methods developed for grating light valves to build a deformable mirror light valve combining the fabrication and speed advantages of the former with the simplicity of the latter. Since the ribbons flex about their long axes, the amplitude of tip deflection required to produce a given angular light deflection is much smaller than that required by prior art cantilever devices, which flex about their short axes.

In Übereinstimmung mit der anwesenden Erfindung micromachined eine Reihe von einzeln ansprechbarem reflektierende Bänder des Lichtes zur Verfügung stellen eine helle Ventilschnelltätigkeit vom Einsetzen einer Methode, in Übereinstimmung mit der die Bänder über ihre längere Mittellinie unter der Tätigkeit von einem angewandten elektrostatischen auffangen biegen. Die Bänder werden an den Untersätzen so angebracht, daß die resultierenden micromechanical Strukturen in Bezug auf eine Fläche entlang ihrer langen Mittellinie durch die Mitten der Untersätze und des Normal zum Substrat im wesentlichen symmetrisch sind. Diese micromechanical Anordnung stellt eine Struktur mit einer hohen natürlichen Frequenz sicher, dadurch siegewährt siegewährt hohe helle Ventilschaltung Geschwindigkeiten. Der bestimmte Modus der Deformation stellt auch eine robuste Struktur sicher. Die Methode kann in entweder "hellem angewendet werden auffangen", oder "Dunkelheit fangen" (Schlieren) Modus auf. Die bestimmte Kombination der Materialien, die eingesetzt werden, erlaubt, daß die Methode in höheren Ereignisenergie Anwendungen wie denen verwendet wird, die in der Druckindustrie angetroffen werden. Die Erfindung verwendet die Herstellung Methoden, die für kratzende helle Ventile entwickelt werden, um ein deformable Spiegellichtventil zu errichten, das die Herstellung und Geschwindigkeit Vorteile vom ehemaligen mit der Einfachheit von der letzten kombiniert. Seit dem Bandflex über ihre langen Äxte, ist der Umfang von Spitzeablenkung erfordert, um eine gegebene eckige helle Ablenkung zu produzieren viel kleiner als der, der durch freitragende Vorrichtungen der vorherigen kunst erfordert wird, die über ihre kurzen Äxte biegen.