A universal recipe editor for editing of semiconductor-manufacturing recipes. The universal recipe editor can read recipes from a wide variety of semiconductor-manufacturing machines from different manufacturers using recipe distributed object model (R-DOM) files. An R-DOM file is generated for each kind of recipe-file format to locate process parameters within proprietary recipe-file formats. The sequence of parameters in the R-DOM file matches the sequence in the recipe data file so that parameter may be mapped from recipe data files for display and editing. ASCII or binary recipe file formats are mapped from the recipe data file using R-DOM objects. Revision and authorng information is kept in a recipe information file for each recipe.

Ein Universalrezeptherausgeber für das Redigieren der Halbleiter-Herstellung Rezepte. Der Universalrezeptherausgeber kann Rezepte von einer breiten Vielzahl der Halbleiter-Herstellung Maschinen von den unterschiedlichen Herstellern mit Rezept verteilten Akten des Gegenstandmodells lesen (R-DOM). Eine R-DOM Akte wird für jede Art Rezept-Akte Format erzeugt, um Prozeßparameter innerhalb der eigenen Rezept-Akte Formate zu lokalisieren. Die Reihenfolge von Parametern in der R-DOM Akte bringt die Reihenfolge in der Rezeptdatei zusammen, damit Parameter von den Rezeptdateien für Anzeige und das Redigieren abgebildet werden kann. ASCII oder binäre Rezeptakte Formate werden von der Rezeptdatei mit R-DOM Gegenständen abgebildet. Neuausgabe und authorng Informationen werden in einer Rezeptinformationen Akte für jedes Rezept geführt.