A method includes measuring a characteristic of a workpiece at a plurality of locations. A uniformity profile is generated based on the characteristic measurements. At least one acceptable region of the workpiece is identified based on the uniformity profile. At least one unacceptable region of the workpiece is identified based on the uniformity profile. The uniformity profile is filtered to remove at least a portion of the characteristic measurements associated with the second unacceptable region. At least one parameter of an operating recipe for performing a process on the workpiece is determined based on the filtered uniformity profile.

Une méthode inclut mesurer une caractéristique d'un objet à une pluralité d'endroits. Un profil d'uniformité est produit a basé sur les mesures caractéristiques. Au moins une région acceptable de l'objet est identifiée a basé sur le profil d'uniformité. Au moins une région inacceptable de l'objet est identifiée a basé sur le profil d'uniformité. Le profil d'uniformité est filtré pour enlever au moins une partie des mesures caractéristiques liées à la deuxième région inacceptable. Au moins un paramètre d'une recette de fonctionnement pour effectuer un processus sur l'objet est déterminé a basé sur le profil filtré d'uniformité.