The resolution achieved with a proximity printing method and apparatus can be increased considerably by using, instead of a photo mask, a diffraction mask (30) wherein the image information is encoded in a two-dimensional array (32) of image cells (37) having dimensions which are smaller than the minimum feature size to be printed, each image cell having one out of at least two amplitude levels and one out of at least three phase levels. The mask may be a multiple focus mask which has multiple focal planes within one image field.

A definição conseguida com um método e um instrumento imprimindo da proximidade pode ser aumentada consideravelmente usar, em vez de uma máscara da foto, por uma máscara do diffraction (30) wherein a informação da imagem é codificada em uma disposição bidimensional (32) das pilhas da imagem (37) que têm as dimensões que são menores do que o tamanho mínimo da característica a ser imprimido, a cada pilha da imagem que tem um fora ao menos de dois níveis de amplitude e um fora ao menos de três níveis da fase. A máscara pode ser uma máscara múltipla do foco que tenha planos focais múltiplos dentro de um campo da imagem.