There is provided a substrate processing apparatus which can efficiently
form, e.g. by electroless plating, an interconnects-protective layer on
the surface of a substrate at a low initial cost for apparatus and a low
running cost without the need for a wide installation space.
The substrate processing apparatus includes: a loading/unloading and
cleaning area accommodating a first transfer robot which has a hand
adapted for handling of a dry substrate and a hand adapted for handling
of a wet substrate, a loading port which loads a substrate cassette that
houses a substrate, and a cleaning unit for cleaning a substrate; and a
plating treatment area accommodating a second transfer robot which has a
back surface-attracting type of hand provided with a reversing mechanism,
a pretreatment unit for carrying out a pretreatment of a substrate before
plating, and a plating treatment unit for carrying out a plating
treatment of the substrate.
Παρέχεται μια συσκευή επεξεργασίας υποστρωμάτων που μπορεί αποτελεσματικά να διαμορφώσει, π.χ. από την electroless επένδυση, ένα διασυνδέω-προστατευτικό στρώμα στην επιφάνεια ενός υποστρώματος με χαμηλό αρχικό κόστος για τις συσκευές και χαμηλό τρέχον κόστος χωρίς την ανάγκη για ένα ευρύ διάστημα εγκαταστάσεων. Η συσκευή επεξεργασίας υποστρωμάτων περιλαμβάνει: μια περιοχή φόρτωσης/εκφόρτωσης και καθαρισμού που προσαρμόζει ένα πρώτο ρομπότ μεταφοράς που προσαρμόζεται ένα χέρι που προσαρμόζονται για το χειρισμό ενός ξηρού υποστρώματος και ένα χέρι για το χειρισμό ενός υγρού υποστρώματος, ένας λιμένας φόρτωσης που φορτώνει μια κασέτα υποστρωμάτων που στεγάζει ένα υπόστρωμα, και μια καθαρίζοντας μονάδα για τον καθαρισμό ενός υποστρώματος και μια περιοχή επεξεργασίας επένδυσης που προσαρμόζει ένα δεύτερο ρομπότ μεταφοράς που παρέχει έναν πίσω επιφάνεια-προσελκύοντας τύπο χεριού έναν αντιστρέφοντας μηχανισμό, μια μονάδα προεπεξεργασίας για την πραγματοποίηση μιας προεπεξεργασίας ενός υποστρώματος πρίν καλύπτει, και μια μονάδα επεξεργασίας επένδυσης για την πραγματοποίηση μιας επεξεργασίας επένδυσης του υποστρώματος.
