A method for determining an effective fatal defect count based on defects in a plurality of inspected integrated circuits includes acquiring defect information related to defects in the integrated circuits, and assigning defect weight values to each of the defects based on the defect information. The defect weight values are in N number of defect weight value ranges, including a lowest and a highest defect weight value range. For each integrated circuit, a heaviest defect is determined, where the heaviest defect is the defect on each integrated circuit having a highest defect weight value. For each of the N number of defect weight value ranges, a total number T(n) of the heaviest defects having a defect weight value within a defect weight value range n is determined, where n equals one to N. A weighted total defect count T.sub.W (n) is determined by weighting the total number T(n) for each of the defect weight value ranges according to a weighting function FP(n) which approaches zero at the lowest defect weight value range and approaches one at the highest defect weight value range. The effective fatal defect count is determined by summing the values of T.sub.W (n) for the N number of defect weight value ranges. The defect weight values are preferably assigned to each of the defects based on defect size, where the smallest defects are in the lowest defect weight value range, and the largest defects are in the highest defect weight value range. Since the heaviest only weighting gives more weight to large defects, the effective fatal defect count is weighted more heavily toward larger defects.

Een methode om een efficiënte fatale tekorttelling te bepalen die op tekorten in een meerderheid van geïnspecteerde geïntegreerde schakelingen wordt gebaseerd omvat het verwerven van tekortinformatie met betrekking tot tekorten in de geïntegreerde schakelingen, en de toewijzing van de waarden van het tekortgewicht aan elk van de tekorten die op de tekortinformatie worden gebaseerd. De waarden van het tekortgewicht zijn in het aantal van N de waardewaaiers van het tekortgewicht, met inbegrip van een laagste en hoogste de waardewaaier van het tekortgewicht. Voor elke geïntegreerde schakeling, wordt een zwaarste tekort bepaald, waar het zwaarste tekort het tekort op elke geïntegreerde schakeling die een hoogste waarde van het tekortgewicht is heeft. Voor elk van het aantal van N de waardewaaiers van het tekortgewicht, wordt een totaal aantal T (n) zwaarste tekorten die een waarde van het tekortgewicht hebben binnen een de waardewaaier n van het tekortgewicht bepaald, waar n aan N evenaart. Een gewogen totale tekorttelling T.sub.W (n) wordt bepaald door het totale aantal T (n) voor elk van de de waardewaaiers van het tekortgewicht volgens een vriespunt van de wegingsfunctie (n) te wegen dat nul bij de laagste de waardewaaier van het tekortgewicht nadert en bij de hoogste de waardewaaier van het tekortgewicht nadert. De efficiënte fatale tekorttelling wordt bepaald door de waarden van T.sub.W (n) voor het aantal van N de waardewaaiers van het tekortgewicht op te tellen. De waarden van het tekortgewicht worden bij voorkeur aan elk van de tekorten toegewezen die op tekortgrootte worden gebaseerd, waar de kleinste tekorten in de laagste de waardewaaier van het tekortgewicht zijn, en de grootste tekorten zijn in de hoogste de waardewaaier van het tekortgewicht. Aangezien de zwaarste slechts weging meer gewicht aan grote tekorten geeft, is de efficiënte fatale tekorttelling zwaarder gewogen naar grotere tekorten.