A method of producing an aerogel layer on a substrate is described. A precursor mixture is provided by mixing at least one material selected from the group consisting of silicates, metal alcolates, aluminates and borates with a solvent. The precursor mixture is used to form a lyosol. The precursor mixture or the lyosol formed therefrom is then applied to the substrate wherein a layer of the lyosol is formed on the substrate. A gel is formed from the lyosol by chemical conversion at a temperature at which the solvent is present in a liquid state. At a pressure between 0.5-2.0 torr the ambient temperature is reduced by about 3-70k below the point at which the solvent is converted into a solid state. The solvent is then converted into a gaseous state in a drying chamber while reducing the pressure of the solvent below the triple point and removing solvent from the gel layer.

Описан метод производить слой aerogel на субстрате. Смесь прекурсора обеспечена путем смешивать по крайней мере один материал выбранный от силикатов группы consist of, alcolates металла, алюминатов и боратов с растворителем. Смесь прекурсора использована для того чтобы сформировать lyosol. Смесь прекурсора или lyosol сформированные therefrom после этого приложены к субстрату при котором слой lyosol сформирован на субстрате. Гель сформирован от lyosol химически преобразованием на температуру на растворитель присутствует в жидкостном положении. На давление между 0.5-2.0 торр.ими окружающяя температура уменьшена около 3-70k под пунктом на растворитель преобразован в полупроводниковое. Растворитель после этого преобразован в газообразное положение в drying камере пока уменьшающ давление растворителя под втройне пунктом и извлекающ растворитель от слоя геля.

 
Web www.patentalert.com

< Deionizers with energy recovery

< Recessed bond pad

> Stacked fill structures for support of dielectric layers

> Low dielectric constant STI with SOI devices

~ 00093