An apparatus capable of processing a wafer, comprises a chamber adapted to process the wafer, whereby one or more parameters of the process being conducted in the chamber may change during processing of the wafer; and a signal analyzer adapted to receive a plurality of input signals relating to the parameters and provide an output signal in relation to the input signals.

Um instrumento capaz de processar um wafer, compreende uma câmara adaptada para processar o wafer, por meio de que um ou o mais parâmetro do processo que está sendo conduzido na câmara pode mudar durante processar do wafer; e um analisador do sinal adaptou-se para receber um plurality dos sinais de entrada que relacionam-se aos parâmetros e para fornecer um sinal de saída com relação aos sinais de entrada.