A MEMs scanning device has a variable resonant frequency. In one embodiment, the MEMs device includes a flexible arm that extends from an oscillatory body. An electrical field applies a force to the flexible arm, thereby bending the flexible arm to change the moment of inertia of the oscillatory body and a secondary mass carried by the flexible arm. The shifted combined center of mass changes the resonant frequency of the MEMs device. In another embodiment, an absorptive material forms a portion of a torsional arm that supports the oscillatory body. The mechanical properties of the absorptive material can be varied by varying the concentration of a gas surrounding the absorptive material. The varied mechanical properties change the resonant frequency of the scanning device. A display apparatus includes the scanning device and the scanning device scans about two or more axes, typically in a raster pattern. Various approaches to controlling the frequency responses of the scanning device are described, including active control of MEMs scanners and passive frequency tuning.

Een MEMs aftastenapparaat heeft een veranderlijke resonerende frequentie. In één belichaming, omvat het apparaat MEMs een flexibel wapen dat zich van een oscillerend lichaam uitbreidt. Een elektrogebied past een kracht op het flexibele wapen toe, daardoor buigend het flexibele wapen om het ogenblik van inertie van het oscillerende lichaam en een secundaire massa te veranderen die door het flexibele wapen wordt vervoerd. Het verplaatste gecombineerde centrum van massa verandert de resonerende frequentie van het apparaat MEMs. In een andere belichaming, vormt een absorberend materiaal een gedeelte van een gewrongen wapen dat het oscillerende lichaam steunt. De mechanische eigenschappen van het absorberende materiaal kunnen worden gevarieerd door de concentratie van een gas te variëren dat het absorberende materiaal omringt. De gevarieerde mechanische eigenschappen veranderen de resonerende frequentie van het aftastenapparaat. Een vertoningsapparaat omvat het aftastenapparaat en het aftasten van het aftastenapparaat over twee of meer assen, typisch in een roosterpatroon. Diverse benaderingen van het controleren van de frequentiereacties van worden het aftastenapparaat beschreven, met inbegrip van actieve controle van scanners MEMs en het passieve frequentie stemmen.