The apparatus comprises the first air conditioning room which includes the edge surface of the image plane side of the projection optical system and the substrate stage and its driving unit, the second air conditioning room which includes the edge surface of the object surface side of the projection optical system and the mask stage and its driving unit, the third air conditioning room which includes the projection optical system, and the fourth air conditioning room which includes the illumination optical system. It also comprises the first air conditioning control unit, which supplies helium gas of a moderate level to the first and second air conditioning rooms, and the second air conditioning control unit, which supplies helium gas with a high purity level to the third and fourth air conditioning rooms. Accordingly, the first and second air conditioning control units independently control the airflow and the contamination of the respective rooms by using gases for air conditioning corresponding to the performance required. Thus, various ideal controls can be performed independently.

Η συσκευή περιλαμβάνει το πρώτο δωμάτιο κλιματισμού που περιλαμβάνει την επιφάνεια ακρών της πλευράς αεροπλάνων εικόνας του οπτικού συστήματος προβολής και του σταδίου υποστρωμάτων και της οδηγώντας μονάδας του, το δεύτερο δωμάτιο κλιματισμού που περιλαμβάνει την επιφάνεια ακρών της πλευράς επιφάνειας αντικειμένου του οπτικού συστήματος προβολής και του σταδίου μασκών και της οδηγώντας μονάδας του, του τρίτου δωματίου κλιματισμού που περιλαμβάνουν το οπτικό σύστημα προβολής, και του τέταρτου δωματίου κλιματισμού που περιλαμβάνει το οπτικό σύστημα φωτισμού. Περιλαμβάνει επίσης την πρώτη μονάδα ελέγχου κλιματισμού, που παρέχουν το ήλιο αέριο ενός μέτριου επιπέδου στα πρώτα και δεύτερα δωμάτια κλιματισμού, και τη δεύτερη μονάδα ελέγχου κλιματισμού, η οποία παρέχει το ήλιο αέριο ένα επίπεδο υψηλής αγνότητας στα τρίτα και τέταρτα δωμάτια κλιματισμού. Συνεπώς, οι πρώτες και δεύτερες μονάδες ελέγχου κλιματισμού ελέγχουν ανεξάρτητα τη ροή αέρος και τη μόλυνση των αντίστοιχων δωματίων με τη χρησιμοποίηση των αερίων για τον κλιματισμό που αντιστοιχεί στην απόδοση που απαιτείται. Κατά συνέπεια, οι διάφοροι ιδανικοί έλεγχοι μπορούν να εκτελεσθούν ανεξάρτητα.