An integrated process tool monitoring system for semiconductor fabrication. Specifically, a process tool parameter auditing system, where a process tool user need not run a different verification system for each process tool type used and need not download parameters every time before a semiconductor device or material is to be processed by the process tool.

Un sistema de supervisión de proceso integrado de la herramienta para la fabricación del semiconductor. Específicamente, un parámetro de proceso de la herramienta que revisa el sistema, donde un usuario de herramienta de proceso no necesita funcionamiento un diverso sistema de la verificación para cada tipo de proceso de la herramienta usado y no necesita descargar parámetros cada vez antes de que un dispositivo o un material de semiconductor deba ser procesado por la herramienta de proceso.