A hydrostatic bearing device for two machine areas moving relative to each other and having faces parallel to each other with a fluid space delimited by parts of the two different machine areas and forming a gap. The fluid is under pressure in the fluid space. The gap between the two machine areas is blocked by means of a seal having a tapered end against one machine area and wherein the pressure reservoir maintains the fluid under pressure in the fluid space.

Een hydrostatisch dragend apparaat voor twee machinegebieden die zich met betrekking tot elkaar bewegen en gezichten aan elkaar evenwijdig met een vloeibare ruimte hebben die door delen van de twee verschillende machinegebieden wordt afgebakend en een hiaat vormen. De vloeistof is onder druk in de vloeibare ruimte. Het hiaat tussen de twee machinegebieden wordt door middel van een verbinding geblokkeerd die een verminderd eind heeft tegen één machinegebied en waarin het drukreservoir de vloeistof onder druk in de vloeibare ruimte handhaaft.

 
Web www.patentalert.com

< Stage device, exposure apparatus, device manufacturing method and movement guidance method

< Rolling bearing component

> Variable stator vane support arrangement

> Rolling guide apparatus

~ 00090