A micro-electro-mechanical system (MEMS) optical switch actuator and method
for fabricating the actuator provide an anchor assembly that functions as
a second electrode. The actuator has a reflective element assembly and a
first electrode assembly for moving the reflective element assembly from a
first position to a second position based on a switching signal. The
actuator further includes an anchor assembly coupled to the reflective
element assembly such that a spring force is generated in the reflective
element assembly when the reflective element assembly is in the second
position. The anchor assembly is electrically conductive such that the
switching signal generates an electrostatic force between the anchor
assembly and the first electrode assembly. The method for fabricating the
actuator includes the step of coupling a multi-level reflection assembly
to an optical circuit. The reflection assembly has an electrically
conductive anchor assembly positioned at a first level with respect to the
optical circuit and a mirror positioned at a second level with respect to
the optical circuit. An insulative mirror beam layer is then coupled to
the reflection assembly, and an electrode assembly is coupled to the
mirror beam layer. The electrode assembly is coupled such that a voltage
potential between the anchor assembly and the electrode assembly causes
the electrode assembly to force the mirror beam layer and the mirror from
the first switching position to the second switching position.
Ένας micro-electro-mechanical ενεργοποιητής και μια μέθοδος διακοπτών συστημάτων (MEMS) οπτικοί για τον ενεργοποιητή παρέχουν μια συνέλευση αγκύρων που λειτουργεί ως δεύτερο ηλεκτρόδιο. Ο ενεργοποιητής έχει μια αντανακλαστική συνέλευση στοιχείων και μια πρώτη συνέλευση ηλεκτροδίων για την κίνηση της αντανακλαστικής συνέλευσης στοιχείων από μια πρώτη θέση προς μια δεύτερη θέση βασισμένη σε ένα σήμα μετατροπής. Ο ενεργοποιητής περιλαμβάνει περαιτέρω μια συνέλευση αγκύρων που συνδέεται με την αντανακλαστική συνέλευση στοιχείων έτσι ώστε μια δύναμη άνοιξη παράγεται στην αντανακλαστική συνέλευση στοιχείων όταν είναι η αντανακλαστική συνέλευση στοιχείων στη δεύτερη θέση. Η συνέλευση αγκύρων είναι ηλεκτρικά αγώγιμη έτσι ώστε το σήμα μετατροπής παράγει μια ηλεκτροστατική δύναμη μεταξύ της συνέλευσης αγκύρων και της πρώτης συνέλευσης ηλεκτροδίων. Η μέθοδος για τον ενεργοποιητή περιλαμβάνει το βήμα της ένωσης μιας πολλαπλής στάθμης συνέλευσης αντανάκλασης με ένα οπτικό κύκλωμα. Η συνέλευση αντανάκλασης τοποθετεί μια ηλεκτρικά αγώγιμη συνέλευση αγκύρων που τοποθετούνται σε πρώτο επίπεδο όσον αφορά το οπτικό κύκλωμα και έναν καθρέφτη σε δεύτερο επίπεδο όσον αφορά το οπτικό κύκλωμα. Ένα insulative στρώμα ακτίνων καθρεφτών συνδέεται έπειτα με τη συνέλευση αντανάκλασης, και μια συνέλευση ηλεκτροδίων συνδέεται με το στρώμα ακτίνων καθρεφτών. Η συνέλευση ηλεκτροδίων συνδέεται έτσι ώστε μια δυνατότητα τάσης μεταξύ της συνέλευσης αγκύρων και της συνέλευσης ηλεκτροδίων αναγκάζει τη συνέλευση ηλεκτροδίων για να αναγκάσει το στρώμα ακτίνων καθρεφτών και τον καθρέφτη από την πρώτη θέση μετατροπής στη δεύτερη θέση μετατροπής.
