A method of producing a thin film of an inorganic solid electrolyte having a relatively high ionic conductance is provided. In the method, a thin film made of an inorganic solid electrolyte is formed, by a vapor deposition method, on a base member being heated. The thin film obtained through the heat treatment exhibits an ionic conductance higher than that of the thin film formed on the base member not being heated. The ionic conductance can also be increased through the steps of forming the thin film made of the inorganic solid electrolyte on the base member at room temperature or a temperature lower than 40.degree. C. and then heating the thin film of the inorganic solid electrolyte.

Une méthode de produire une couche mince d'un électrolyte plein inorganique ayant une conductibilité ionique relativement élevée est fournie. Dans la méthode, une couche mince faite d'un électrolyte plein inorganique est formée, par une méthode de dépôt de vapeur, sur un membre bas étant chauffé. La couche mince obtenue par le traitement thermique montre une conductibilité ionique plus haut que cela de la couche mince formée sur le membre bas n'étant pas chauffé. La conductibilité ionique peut également être augmentée par les étapes de former la couche mince faite de l'électrolyte plein inorganique sur le membre bas à la température ambiante ou à température plus basse qu'40.degree. C. et puis chauffage de la couche mince de l'électrolyte plein inorganique.