A leaf coater, in which a constant quantity of a coating solution is supplied intermittently from a coating solution supply source through a predetermined coating solution quantity intermittent supply and a coating solution applier to a blank substrate, for coating blank substrates one by one with the coating solution, characterized in that a coating solution filtration is provided in the coating solution flow pipeline from the coating solution supply source to the coating solution applier, and the Young's modulus of the filter medium in the coating solution filtration is not less than 200 MPa, while the pore size of the filter medium is in the range of 0.05 .mu.m to 100 .mu.m; and a method for producing coated substrates using the leaf coater.

Coater листьев, в котором постоянн количество покрывая разрешения поставлено периодическ от покрывая источника поставок разрешения через предопределенную покрывая поставку количества разрешения периодическ и покрывая разрешение более applier к пустому субстрату, для покрывать пустые субстраты one by one с покрывая разрешением, котор характеризуют в что покрывая фильтрация разрешения снабжена в покрывая трубопроводе подачи разрешения от покрывая источника поставок разрешения покрывая разрешение более applier, и young's модулем средства фильтра в покрывая фильтрации разрешения не чем 200 MPa, пока размер поры средства фильтра находится в ряде 0.05 mu.m к mu.m 100; и метод для производить coated субстраты использующ coater листьев.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Methods for cleaning microelectronic structures with aqueous carbon dioxide systems

> Method of manufacturing material for forming insulating film

> (none)

~ 00089