A method for moving a substrate to a predetermined location with a
specified orientation with a robotic manipulator, the robotic manipulator
having a plurality of joint actuators and an end-effector for holding the
substrate, wherein the end-effector is independently rotatable with
respect to the remaining robotic manipulator. The method can select a
reference point on the end-effector for determining a position of the
end-effector, wherein the reference point is offset from a wrist of the
robotic manipulator, determining a motion path for movement of the
end-effector of robotic arm toward predetermined location with specified
orientation, and generating motion profiles for translational and
rotational components of movement of the end-effector of robotic
manipulator along the motion path. The motion profiles are converted into
joint motion profiles for each of the joint actuators of the robotic
manipulator for implementing the movement of the end-effector to
predetermined location with the specified orientation.
Eine Methode für das Verschieben eines Substrates auf eine vorbestimmte Position mit einer spezifizierten Lagebestimmung mit einem Roboterhandhaber, dem Roboterhandhaber, die eine Mehrzahl der gemeinsamen Auslöser und des End-effector für das Halten des Substrates haben, worin der End-effector unabhängig in Bezug auf den restlichen Roboterhandhaber drehbar ist. Die Methode kann einen Bezugspunkt auf dem End-effector für die Bestimmung einer Position des End-effector vorwählen, worin der Bezugspunkt von einem Handgelenk des Roboterhandhabers versetzt wird, einen Bewegung Weg für Bewegung des End-effector des Roboterarmes in Richtung zu vorbestimmter Position mit spezifizierter Lagebestimmung feststellt, und Bewegung Profile für die translational und Rotationsbestandteile der Bewegung des End-effector von Roboterhandhaber entlang dem Bewegung Weg erzeugt. Die Bewegung Profile werden in gemeinsame Bewegung Profile für jeden der gemeinsamen Auslöser des Roboterhandhabers für das Einführen der Bewegung des End-effector zu vorbestimmter Position mit der spezifizierten Lagebestimmung umgewandelt.
