A vision system and method for calibrating motion of a robot disposed in a processing system is provided. In one embodiment, a vision system for a processing system includes a camera and a calibration wafer that are positioned in a processing system. The camera is positioned on the robot and is adapted to obtain image data of the calibration wafer disposed in a predefined location within the processing system. The image data is utilized to calibrate the robots motion.

Um sistema e um método da visão para calibrar o movimento de um robô disposto em um sistema processando são fornecidos. Em uma incorporação, um sistema da visão para um sistema processando inclui uma câmera e um wafer da calibração que sejam posicionados em um sistema processando. A câmera é posicionada no robô e adaptada para obter dados da imagem do wafer da calibração disposto em uma posição predefinida dentro do sistema processando. Os dados da imagem são utilizados para calibrar o movimento dos robôs.