An apparatus at least partially intercepts a plurality of light beams propagating along a respective plurality of beam paths. The apparatus includes a single crystal silicon substrate and an array including a plurality of modules. Each module includes a reflector comprising single crystal silicon and a reflector surface lying in a reflector plane substantially perpendicular to the substrate surface. Each module further includes a reflector support which mounts the reflector to move substantially within the reflector plane with a displacement component along the surface normal direction of the substrate surface. Each module further includes a reflector driver responsive to electrical current to selectively move the reflector between a first position and a second position.

Um instrumento ao menos intercepta parcialmente um plurality dos feixes luminosos que propagam ao longo de um plurality respectivo de trajetos de feixe. O instrumento inclui uma carcaça do silicone do único cristal e uma disposição including um plurality dos módulos. Cada módulo inclui um refletor que compreende o silicone do único cristal e encontrar-se de superfície do refletor em um plano do refletor substancialmente perpendicular à superfície da carcaça. Cada módulo mais adicional inclui uma sustentação do refletor que monte o refletor para se mover substancialmente dentro do plano do refletor com um componente do deslocamento ao longo do sentido normal de superfície da superfície da carcaça. Cada módulo mais adicional inclui um excitador do refletor responsivo à corrente elétrica para mover seletivamente o refletor entre uma primeira posição e uma segunda posição.