An improved method of and apparatus for real-time continual nanometer scale position measurement by beam probing as by laser beams and the like, both fixed and oscillating or scanning, over an atomic and other undulating surface such as gratings or the like, relatively moving with respect to the probing beams; and providing, where desired, increased detection speeds, improved positioning sensing response, freedom from or relaxed requirements of strict control on probing oscillation amplitude, and multi-dimensional position measurement with focused beam probes and the like.

Μια βελτιωμένες μέθοδος και μια συσκευή για τη σε πραγματικό χρόνο συνεχή κλίμακα nanometer τοποθετούν τη μέτρηση από την ακτίνα που εξετάζει όπως από τις ακτίνες λέιζερ και τους ομοίους, και σταθερούς και που ταλαντεύεται ή που ανιχνεύει, πέρα από μια ατομική και άλλη κυματιστή επιφάνεια όπως τα κιγκλιδώματα ή οι όμοιοι, σχετικά κινούμενος όσον αφορά τις ακτίνες εξέτασης και τους δίνοντας, όπου τις επιθυμητές, αυξανόμενες ταχύτητες ανίχνευσης, τη βελτιωμένη απάντηση αντίληψης προσδιορισμού θέσης, την ελευθερία από ή τις χαλαρωμένες απαιτήσεις του αυστηρού ελέγχου στην εξέταση του εύρους ταλάντωσης, και την πολυδιάστατη μέτρηση θέσης ελέγχους και τους ομοίους ακτίνων.