A capacitor structure is formed in a wedge-shaped trench by forming alternating layers of insulating material and conductive material in the trench such that each layer of conductive material formed in the trench is electrically isolated from adjacent layers of conductive material formed in the trench. A first electrical contact is formed to electrically link in parallel a first set of alternating layers of conductive material. A second electrical contact is formed to electrically link in parallel a second set of alternating layers of conductive material. The two electrically isolated sets of inter-linked layers of conductive material define the interdigitated capacitor structure.

Una struttura del condensatore è formata in una trincea a cuneo formando gli strati alternati di materiale materiale e conduttivo isolante nella trincea tali che ogni strato di materiale conduttivo formato nella trincea è isolato elettricamente dagli strati adiacenti di materiale conduttivo formati nella trincea. Un primo contatto elettrico è formato per collegare elettricamente parallelamente un primo insieme degli strati alternati di materiale conduttivo. Un secondo contatto elettrico è formato per collegare elettricamente parallelamente un secondo insieme degli strati alternati di materiale conduttivo. I due insiemi elettricamente isolati degli strati collegati di materiale conduttivo definiscono interdigitated la struttura del condensatore.