The illumination optical system includes a lens array having a plurality of lenses for splitting the light emitted from a light source into a plurality of sub-beams, at least some lenses of the lens array being decentered. The thickness of each of the lenses constituting the lens array is adjusted such that the step difference at the boundaries between the lenses falls within a predetermined step difference.

Die Ablichtung, die optisches System eine Objektivreihe einschließt, die eine Mehrzahl der Objektive für das Aufspalten des Lichtes hat, das von einer Lichtquelle in eine Mehrzahl der Vor-Lichtstrahlen, mindestens einige Objektive von der Objektivreihe ausgestrahlt wird, die ist, decentered. Der Stärke von jedem der Objektive, welche die Objektivreihe festsetzen, wird so justiert, daß der Schrittunterschied an den Grenzen zwischen den Objektiven innerhalb eines vorbestimmten Schrittunterschiedes fällt.