A semiconductor processing apparatus and method are disclosed herein, including a plurality of process chambers, wherein at least one semiconductor processing operation occurs within each process chamber among the plurality of process chambers. Additionally, the apparatus and method disclosed herein include a robot mechanism for rotating each process chamber among the plurality of process chambers upon completion of an associated semiconductor processing operation. Such a robot mechanism may comprise a plurality of robots. Specifically, such a plurality of robots may include six robots configured on an associated carousel.

Ein Halbleiter, der Apparat verarbeiten und Methode werden hierin, einschließlich eine Mehrzahl der Prozeßräume freigegeben, worin mindestens ein Arbeitsvorgang des Halbleiters innerhalb jedes Prozeßraumes unter der Mehrzahl der Prozeßräume auftritt. Zusätzlich schließen die Apparate und die Methode, die hierin freigegeben werden, eine Robotereinheit für das Drehen jedes Prozeßraumes unter der Mehrzahl der Prozeßräume nach Beendigung eines Arbeitsvorgangs des verbundenen Halbleiters ein. Solch eine Robotereinheit kann eine Mehrzahl von den Robotern enthalten. Spezifisch kann solch eine Mehrzahl der Roboter sechs Roboter mit einschließen, die auf einem verbundenen Karussell zusammengebaut werden.