A method and rotational mask scanning apparatus for exposing a plurality of images on a workpiece, include a rotatable mask having a pattern of image segments thereon, an optical system for projecting the image segments onto the workpiece, and a device for at least one of rotating the mask and for moving the workpiece so as to continuously expose a plurality of regions on the workpiece with the pattern of image segments.

Eine Methode und Rotationsein schablone Abtastungapparat für das Herausstellen einer Mehrzahl von Bildern auf einem Werkstück, schließen eine drehbare Schablone ein, die ein Muster der Bildsegmente darauf, ein optisches System für das Projizieren der Bildsegmente auf das Werkstück und eine Vorrichtung für eins mindestens des Drehens der Schablone und für das Verschieben des Werkstückes, um eine Mehrzahl von Regionen auf dem Werkstück mit dem Muster der Bildsegmente ununterbrochen herauszustellen hat.

 
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< Electrically conductive ceramic material, a process of producing same, and an electrostatic chuck

> Contactor, a method of manufacturing the contactor and a device and method of testing electronic component using the contactor

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