A linear motion assembly is provided as part of a robot for processing substrates in a vacuum. An effector assembly is mounted for linear movement on linear bearings. The end effectors are driven by cables which in turn are driven by a drive which is positioned in an adjacent pressure vessel maintained at atmospheric pressure.

Un mouvement linéaire est fourni en tant qu'élément d'un robot pour traiter des substrats dans un vide. Une assemblée effectrice est montée pour le mouvement linéaire sur les roulements linéaires. Les terminaux sont conduits par les câbles qui à leur tour sont conduits par une commande qui est placée dans un navire de pression adjacent maintenu à la pression atmosphérique.