A micro-electromechanical (MEM) resonator is described that includes a substrate, a microbridge beam structure coupled to the substrate and at least one electrode disposed adjacent to the microbridge beam structure to induce vibration of the beam. The microbridge beam structure includes support sections and a beam formed between the support sections. The center region of the beam has a mass that is less than the mass of regions of the beam adjacent to the support sections.

Описан микро--3lektroi1-mexanicesk резонатор (MEM) вклюает субстрат, структуру луча microbridge соединенную к субстрату и по крайней мере один электрод размещан за структурой луча microbridge для того чтобы навести вибрацию луча. Структура луча microbridge вклюает разделы поддержки и луч сформированный между разделами поддержки. Разбивочная зона луча имеет массу чем масса зон луча за разделами поддержки.