A high precision system for adapting mass spectrometry for leak detection in high production applications is described. In one embodiment the system includes a plurality of sampling ports and a background port coupled to a console including a process controller. The console includes a vacuum maintenance manifold, and a separate sample manifold to which the sampling ports and background port are connected. The console further includes a helium mass spectrometer with a nitrogen purge supply, calibrated leak inputs, and a vacuum maintenance pump. The separate vacuum maintenance and sampling manifolds allow a constant flow from the gas sampling port to the sampling manifold, while continuous injection of the nitrogen gas into the sampling manifold prevents saturation of the mass spectrometer with helium from a tested part having excessive leakage.

Ένα σύστημα υψηλής ακρίβειας για τη μαζική φασματομετρία για την ανίχνευση διαρροών στις υψηλές εφαρμογές παραγωγής περιγράφεται. Σε μια ενσωμάτωση το σύστημα περιλαμβάνει μια πολλαπλότητα των λιμένων δειγματοληψίας και ενός λιμένα υποβάθρου που συνδέεται με μια κονσόλα συμπεριλαμβανομένου ενός ελεγκτή διαδικασίας. Η κονσόλα περιλαμβάνει μια κενή πολλαπλή συντήρησης, και μια χωριστή πολλαπλή δειγμάτων με τις οποίες οι λιμένες δειγματοληψίας και ο λιμένας υποβάθρου συνδέονται. Η κονσόλα περιλαμβάνει περαιτέρω ένα μαζικό φασματόμετρο ηλίου με έναν ανεφοδιασμό εκκαθαρίσεων αζώτου, βαθμολογημένες εισαγωγές διαρροών, και μια κενή αντλία συντήρησης. Οι χωριστές κενές πολλαπλές συντήρησης και δειγματοληψίας επιτρέπουν μια σταθερή ροή από το λιμένα αέριο δειγματοληψίας στην πολλαπλή δειγματοληψίας, ενώ η συνεχής έγχυση του αζώτου αέριο στην πολλαπλή δειγματοληψίας αποτρέπει τον κορεσμό του μαζικού φασματομέτρου με το ήλιο από ένα δοκιμασμένο μέρος που έχει την υπερβολική διαρροή.