A reticle protection and transport system and method for a lithography tool. The system includes an indexer that stores a plurality of reticles and a removable reticle cassette. The removable reticle cassette is comprised of an inner chamber and an outer chamber. The system further includes an end effector coupled to a robotic arm. The end effector engages one of the plurality of reticles to enable the reticle to be positioned within the removable reticle cassette and thereafter transported. The system further includes a seal, coupled to the end effector and the robotic arm. To transport the reticle, the reticle is first loaded onto the end effector. Next, the end effector is used to create an arrangement wherein the reticle is loaded into the removable reticle cassette. Importantly, the reticle and removable reticle cassette do not come into contact with one another. The reticle and removable reticle cassette arrangement is then sealed and transported from the indexer to a mount for performing lithographic exposure. Once lithographic exposure is completed, the arrangement is returned to the indexer and the reticle is withdrawn from the removable reticle cassette.

Μια προστασία σταυρονημάτων και ένα σύστημα και μέθοδος μεταφορών για ένα εργαλείο λιθογραφίας. Το σύστημα περιλαμβάνει έναν καταχωρητή που αποθηκεύει μια πολλαπλότητα των σταυρονημάτων και μιας μετακινούμενης κασέτας σταυρονημάτων. Η μετακινούμενη κασέτα σταυρονημάτων αποτελείται από μια εσωτερική αίθουσα και μια εξωτερική αίθουσα. Το σύστημα περιλαμβάνει περαιτέρω μια συσκευή επίδρασης τελών που συνδέεται με έναν ρομποτικό βραχίονα. Η συσκευή επίδρασης τελών δεσμεύει μια από την πολλαπλότητα των σταυρονημάτων για να επιτρέψει στο σταυρόνημα για να τοποθετηθεί μέσα στη μετακινούμενη κασέτα σταυρονημάτων και να μεταφερθεί έκτοτε. Το σύστημα περιλαμβάνει περαιτέρω μια σφραγίδα, που συνδέεται με τη συσκευή επίδρασης τελών και το ρομποτικό βραχίονα. Για να μεταφέρει το σταυρόνημα, το σταυρόνημα φορτώνεται αρχικά επάνω στη συσκευή επίδρασης τελών. Έπειτα, η συσκευή επίδρασης τελών χρησιμοποιείται για να δημιουργήσει μια ρύθμιση όπου το σταυρόνημα φορτώνεται στη μετακινούμενη κασέτα σταυρονημάτων. Σημαντικά, το σταυρόνημα και η μετακινούμενη κασέτα σταυρονημάτων δεν έρχονται σε επαφή με το ένα άλλη. Το σταυρόνημα και η μετακινούμενη ρύθμιση κασετών σταυρονημάτων σφραγίζονται έπειτα και μεταφέρονται από τον καταχωρητή σε ένα υποστήριγμα για την εκτέλεση της λιθογραφικής έκθεσης. Μόλις ολοκληρωθεί η λιθογραφική έκθεση, η ρύθμιση επιστρέφεται στον καταχωρητή και το σταυρόνημα αποσύρεται από τη μετακινούμενη κασέτα σταυρονημάτων.