A microelectromechanical (MEMS) device is provided that includes a microelectronic substrate, a microactuator disposed on the substrate and formed of a single crystalline material, and at least one metallic structure disposed on the substrate adjacent the microactuator While the MEMS device can include various microactuators, one embodiment of the microactuator is a thermally actuated microactuator that may include a pair of spaced apart supports disposed on the substrate and at least one arched beam extending therebetween. Thus, on actuation, the microactuator moves between a first position in which the microactuator is spaced apart from the at least one metallic structure to a second position in which the microactuator operably engages the at least one metallic structure.

Μια microelectromechanical συσκευή (MEMS) παρέχεται που περιλαμβάνει ένα μικροηλεκτρονικό υπόστρωμα, ένα microactuator που διατίθεται στο υπόστρωμα και που διαμορφώνεται ενός ενιαίου κρυστάλλινου υλικού, και τουλάχιστον μια μεταλλική δομή που διατίθεται στο υπόστρωμα δίπλα στο microactuator ενώ η συσκευή MEMS μπορεί να περιλάβει τα διάφορα microactuators, μια ενσωμάτωση του microactuator είναι θερμικά ωθημένο microactuator που μπορεί να περιλάβει ένα ζευγάρι των χωρισμένων κατά διαστήματα χώρια υποστηρίξεων που διατίθενται στο υπόστρωμα και τουλάχιστον μια σχηματισμένη αψίδα ακτίνα που επεκτείνεται. Κατά συνέπεια, στην ώθηση, το microactuator κινείται μεταξύ μιας πρώτης θέσης στην οποία το microactuator χωρίζεται κατά διαστήματα εκτός από την τουλάχιστον μια μεταλλική δομή σε μια δεύτερη θέση στην οποία το microactuator συμμετέχει operably την τουλάχιστον μια μεταλλική δομή.