A system, apparatus and method is disclosed for providing a consistent liquid mixture according to a predetermined recipe for use at a point of use. The apparatus includes a plurality of liquid component reservoirs in which a constant gas pressure is maintained. A plurality of valves are provided, with individual valves connected to an outlet port of each reservoir. An electronic controller controls the valve actuation in a repetitive sequence to discharge predetermined doses of selected liquid components for mixing to form the consistent liquid mixture. A mixing section receives the sequence of doses to mix them together to form the liquid mixture.

Система, прибор и метод показаны для обеспечивать последовательную жидкостную смесь согласно предопределенному recipe для пользы на этап пользы. Прибор вклюает множественность жидкостных компонентных резервуаров в поддержан постоянн давления газа. Множественность клапанов обеспечена, при индивидуальные клапаны соединенные к порту выхода каждого резервуара. Электронный регулятор контролирует возбуждение клапана в repetitive последовательности для того чтобы discharge предопределил дозы выбранных жидкостных компонентов для смешивать для того чтобы сформировать последовательную жидкостную смесь. Смешивая раздел получает последовательность доз для того чтобы смешать их совместно для того чтобы сформировать жидкостную смесь.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Method for performing two wafer preparation operations on vertically oriented semiconductor wafer in single enclosure

> Striking tool

> (none)

~ 00083