A cleaning processing part and an ashing processing part are oppositely arranged flush with each other through a transport path where a transport robot is arranged. The cleaning processing part comprises a surface scrubber and a rear scrubber. The ashing processing part performs ashing with plasma. The transport robot transports a substrate to be processed from an indexer successively through the ashing processing part, a reversal part and the cleaning processing part and returns the same to the indexer again. The transport robot immediately transports the substrate completely subjected to ashing toward the cleaning processing part, whereby the time required from ashing to cleaning processing is so reduced that a dead time can be eliminated while cleaning performance can be improved by performing cleaning processing immediately after ashing. Thus, a substrate processing apparatus improving cleaning performance by reducing a dead time up to cleaning processing is provided.

Een schoonmakend verwerkingsdeel en een verbrandend verwerkingsdeel worden tegengesteld geschikt gelijk met elkaar door een vervoerweg waar een vervoerrobot wordt geschikt. Het schoonmakende verwerkingsdeel bestaat uit een oppervlaktegaszuiveraar en uit een achtergaszuiveraar. Het verbrandende verwerkingsdeel voert verbranding met plasma uit. De vervoerrobot vervoerden een substraat dat van een indexeerder opeenvolgend door het verbrandende verwerkingsdeel, een omkeringsdeel en het schoonmakende verwerkingsdeel en de winst het zelfde aan de indexeerder moet worden verwerkt opnieuw. _ de vervoer robot onmiddellijk ver*voeren de substraat volledig onder*werpen aan ver*branden naar de schoon:maken verwerking deel, waardoor de tijd ver*eisen van ver*branden aan schoon:maken verwerking zo ver*minderen dat een dood tijd kunnen elimineren terwijl schoon:maken prestaties kunnen ver*beteren door uit:voeren schoon:maken ver*werken onmiddellijk na ver*branden. Aldus, wordt een apparaat dat van de substraatverwerking het schoonmaken prestaties verbetert door een dode tijd tot het schoonmaken verwerking te verminderen verstrekt.

 
Web www.patentalert.com

< Method for recognition determination and localisation of at least one arbitrary object or space

< Installation for spraying coating product and process for cleaning such an installation

> Open mold multi-lap manufacturing process

> Open mold multi-lap manufacturing process

~ 00083