A semiconductor device includes a real pattern and dummy patterns in respective different coordinate systems. Using a dummy pattern in a single coordinate system does not allow an effective dummy pattern arrangement. To the contrary, if the dummy patterns in different coordinate systems are used, minimum interval requirements may be satisfied in one coordinate system while such requirements are not met in another coordinate system.

Μια συσκευή ημιαγωγών περιλαμβάνει ένα πραγματικό σχέδιο και πλαστά σχέδια στα αντίστοιχα διαφορετικά ισότιμα συστήματα. Η χρησιμοποίηση ενός πλαστού σχεδίου σε ένα ενιαίο ισότιμο σύστημα δεν επιτρέπει μια αποτελεσματική πλαστή ρύθμιση σχεδίων. Στο αντίθετο, εάν τα πλαστά σχέδια στα διαφορετικά ισότιμα συστήματα χρησιμοποιούνται, οι ελάχιστες προδιαγραφές διαστήματος μπορούν να ικανοποιηθούν σε ένα ισότιμο σύστημα ενώ τέτοιες απαιτήσεις δεν καλύπτονται σε ένα άλλο ισότιμο σύστημα.