The present invention provides a method for producing a film forming resin suitable for use in a photoresist composition, involving the following steps: (a) providing a solution of a film forming resin in a solvent; (b) providing the following two filter sheets: (i) a filter sheet containing a self-supporting fibrous matrix having immobilized therein a particulate filter aid and particulate ion exchange resin particles, where the particulate filter aid and ion exchange resin particles are distributed substantially uniformly throughout a cross-section of said matrix; and (ii) a filter sheet containing a self-supporting matrix of fibers having immobilized therein particulate filter aid and binder resin; (c) rinsing the filter sheets of step (b) with the solvent of step (a); and (d) passing the solution of the film forming resin through the rinsed filter sheets of step (c).

A invenção atual fornece um método produzindo uma película que dá forma à resina apropriada para o uso em uma composição do photoresist, envolvendo as seguintes etapas: (a) fornecendo uma solução de uma película que dá forma à resina em um solvente; (b) fornecendo as seguintes duas folhas do filtro: (i) uma folha do filtro que contem uma matriz fibrous self-supporting que immobilized nisso um dae (dispositivo automático de entrada) particulate do filtro e umas partículas particulate da resina da troca de íon, onde as partículas particulate da resina da troca do dae (dispositivo automático de entrada) e de íon do filtro sejam distribuídas substancialmente uniformemente durante todo um cross-section de matriz dita; e (ii) uma folha do filtro que contem uma matriz self-supporting das fibras que immobilized nisso o dae (dispositivo automático de entrada) do filtro e a resina particulate da pasta; (c) enxaguando as folhas do filtro da etapa (b) com o solvente da etapa (a); e (d) passando a solução da película que dá forma à resina através das folhas enxaguadas do filtro da etapa (c).