The present invention provides improved MEMS devices and methods for use with fiber-optic communications systems. In one embodiment, an apparatus for steering light has a beam layer (160) with a reflective surface. The device uses a multi-layer electrode stack underlying the beam layer to rotate the beam layer into a desired position. Additionally, an underlying rotation and support structure provides a stable platform for the beam layer when the device is activated. In one embodiment, the underlying structure provides a multi-point landing system to maintain a generally flat beam layer upper surface when the device is activated.

De onderhavige uitvinding verstrekt betere apparaten MEMS en methodes voor gebruik met vezeloptische communicatie systemen. In één belichaming, heeft een apparaat om licht te sturen een straallaag (160) met een weerspiegelende oppervlakte. Het apparaat gebruikt een multi-layer elektrodenstapel die aan de straallaag ten grondslag ligt om de straallaag in een gewenste positie te roteren. Bovendien, verstrekken een onderliggende omwenteling en een steunstructuur een stabiel platform voor de straallaag wanneer het apparaat wordt geactiveerd. In één belichaming, verstrekt de onderliggende structuur een landend systeem met meerdere balies om een over het algemeen vlakke hogere oppervlakte van de straallaag te handhaven wanneer het apparaat wordt geactiveerd.