A method for scaling a pixel location in a digital photolithography system by rotating a pixel panel is provided. The method determines the angle of rotation of the pixel panel relative to a subject and calculates the original location of the pixel to be scaled. The method calculates the desired location of the pixel and determines the angle through which the pixel panel should be rotated to align the pixel with the desired location in a first dimension. The scan rate of the pixel panel and the subject is altered to align the pixel with the desired location in a second dimension.

Μια μέθοδος για μια θέση εικονοκυττάρου σε ένα ψηφιακό σύστημα φωτολιθογραφίας με την περιστροφή μιας επιτροπής εικονοκυττάρου παρέχεται. Η μέθοδος καθορίζει τη γωνία της περιστροφής της επιτροπής εικονοκυττάρου σχετικά με ένα θέμα και υπολογίζει την αρχική θέση του εικονοκυττάρου που ξελεπιάζεται. Η μέθοδος υπολογίζει την επιθυμητή θέση του εικονοκυττάρου και καθορίζει τη γωνία μέσω της οποίας η επιτροπή εικονοκυττάρου πρέπει να περιστραφεί για να ευθυγραμμίσει το εικονοκύτταρο με την επιθυμητή θέση σε μια πρώτη διάσταση. Το ποσοστό ανίχνευσης της επιτροπής εικονοκυττάρου και του θέματος αλλάζουν για να ευθυγραμμίσει το εικονοκύτταρο με την επιθυμητή θέση σε μια δεύτερη διάσταση.